Основные схемы возбуждения ЭЭЛ
2.Основные схемы возбуждения ЭЭЛ
Гильвин Павел
Системы возбуждения электроразрядных эксимерных лазеров, использующие сосредоточенные емкости, можно классифицировать на выполненные по типу LC-контура или LC-инвертора. В равной мере оба типа систем возбуждения используются не только в лабораторных лазерах, но и в серийно выпускаемых. Вместе с тем они имеют и существенные отличия. Системы возбуждения на основе LC-контура позволяют получать энергии генерации ³1 Дж, а при импульсной зарядке накопительной емкости до 20 Дж , формировать длинные импульсы генерации, успешно управлять их формой и длительностью, иметь высокую генерационную эффективность. Однако такие требования к LC-контуру как минимальная индуктивность, использование специальных конденсаторов и низкоимпедансных коммутаторов ограничивает их применение, особенно когда необходимы высокие мощности генерации (>50 МВт) и большая частота повторения импульсов. В таких случаях чаще всего используются системы возбуждения на основе LC-инвертора. Во-первых, у них снижены требования к коммутатору и индуктивности в его цепи и во-вторых, они позволяют вдвое увеличить напряжение, прикладываемое к лазерным электродам.
В технике возбуждения газоразрядных лазеров в основном используется три типа электрических схем: так называемая схема Блюмляйна (рис. 2а), схема с перезарядкой емкостей (рис.2б) и генератор Маркса(рис. 2в).
Недостатком схемы Блюмляйна является трудность согласования импедансов нагрузки и контура возбуждения. Но зато существует
теоретическая возможность удвоения напряжения на нагрузке. Кроме того, при оптимальных параметрах согласования нагрузка на коммутатор низка, т. к. коммутируется только емкость С1, которая в большинстве случаев в 2-3 раза меньше С2.
Схема с перезарядкой емкостей (рис. 2б) наиболее сильно нагружает. коммутатор (тиратрон), т. к. коммутируемая емкость С1 больше С2. Кроме того, в случае согласованной нагрузки напряжение на ней падает более чем вдвое по сравнению с начальным напряжением на накопительной емкости С1.
Генератор Маркса применяется в мощных лазерных установках, где основной упор сделан на энергетические, а не частотные характеристики, т. к. в этом типе схемы возбуждения в качестве коммутаторов используются искровые разрядники, не позволяющие работать с частотами выше 10 Гц.
Качественно картина работы схемы возбуждения выглядит так: первоначально емкости С1 и С2 заряжаются от источника питания до напряжения U0. После включения коммутатора Т в контуре 1 начинается довольно медленный процесс переразрядки емкости C1 с характерным временем (L1c1), где L1 - индуктивность тиратрона. Этот контур в основном определяет крутизну нарастания напряжения на нагрузке - межэлектродном промежутке. В идеальном случае процесс инвертирования заряда на С1 проходит полностью, и в момент пробоя емкости С1 и С2 оказываются соединенными последовательно, напряжение на нагрузке удваивается по сравнению с начальным U0. Реально же из-за довольно медленного процесса, тормозимого конечными переходными характеристиками тиратрона, нарастание напряжения на нагрузке недостаточно быстро (около 70 нc), и пробой происходит без существенного перенапряжения.
Длительность импульса тока, следовательно и плотность тока, определяет контур 11 с характерным временем
Как показывают эксперименты, можно пожертвовать скоростью нарастания напряжения и, подсоединив параллельно нагрузке емкость С3, уменьшить за счет взаимоиндукции L2 и L3 эффективную индуктивность разрядного контура, тем самым ускорить процессы энерговклада в плазму. Этот метод оказался довольно эффективным и позволил поднять кпд лазера в 1, 5 раза.
Практически все схемы возбуждения можно получить исходя из двух основных схем LC-контур и LC-инвертор .
2.1. Использование LC-контура для возбужденияэлектроразрядных эксимерных лазеров
Применению LC-контура в качестве системы возбуждения
эксимерных лазеров посвящен ряд работ. Было исследовано влияние на энергию генерации отдельных параметров разрядного контура, проведена оптимизация схемы возбуждения, изучено влияние индуктивности контура на энергию генерации и исследована зависимость выходной энергии и полной эффективности ХеСl-лазера от отношения накопительной к обострительной ёмкостей С0/С1.
Из результатов исследования влияния величины обострительной емкости на выходную энергию и КПД ХеСl лазера стало ясно, что существует оптимальное значение обострительной емкости, при которой выходная энергия максимальна.